基础信息:
材质:氧化铝
名称:伯努利手指
工艺:3D打印工艺
用途:
1.半导体:晶圆搬运、光刻等工序
2.电子制造:芯片封装、元件分拣
3.新能源:硅片清洗、搬运;电池片搬运
4.医疗/化工:处理柔软易变形有无痕要求的医疗用品
5.光学:镜片夹持、转运
核心性能:
无损抓取、洁净、高速高效、结构轻量化以及对精密易损物体(如半导体晶圆)的出色处理能力上。
使用效果:
1. 流体阻力(Pressure Drop)大幅降低:光固化增材制造在数字层面上直接构建流线型渐变气腔,气道内部无任何死角,出气孔圆周布气极其各向同性。即便面对形变翘曲度严重的薄片晶圆,也能产生均匀、强劲的拉平吸附力,搬运稳定性发生质的飞跃。
2. 根除“层间热分层”导致的爆管脱落灾难:内部复杂的流体分配网络与外部刚性壳体实现同质同晶、“一体无缝成型”,在物理本征上消除了任何拼接、粘接界面。
3. 气路优势:一体无缝成型 →避免传统制造贴合工艺可能产生的杂质污染(玻璃粉或添加剂),同时物理上根除异质界面,避免因压力失配导致的分层和漏气
应用场景:
在洁净环境下,于EFEM、Sorter、涂胶显影、检测等设备间,高速、稳定地搬运晶圆,同时避免划伤和微粒污染,适用于减薄晶圆搬运、翘曲晶圆处理、高洁净度场景。