碳化硅桨杆

一、碳化硅桨杆优势

1、超耐高温抗蠕变：耐温可达1600℃，高温下无变形、无蠕变，适配晶圆高温传输、烧结工序，保障传输稳定性。

2、全维度定制适配：按需定制长度、直径、头部结构及接口规格，适配2-12英寸晶圆，支持异形、多工位桨杆定制，精准匹配传输设备。

3、 耐腐耐磨无污染：抗等离子体、强酸强碱腐蚀，耐磨不易磨损，无颗粒脱落、无杂质析出，保障晶圆洁净度。

4、 精准传输防损伤：精密加工，直线度高，传输平稳，杜绝晶圆刮伤、掉落，适配自动化传输生产线。

二、定制级碳化硅桨杆：稳定推送，守护您的晶圆安全

1、【超凡高温稳定性，抗蠕变】：碳化硅桨杆可在高达1300°C以上的高温环境中长期稳定工作，不变形、不弯曲，确保晶舟在炉管内外的平稳精准传输，有效避免晶圆滑落或碰撞，远超传统材料的耐热极限。

2、【极致纯净度，零污染】：采用高纯度碳化硅原料，烧结致密，表面光洁，不易脱落颗粒，不释放金属离子，从根本上杜绝了对晶圆和炉管内环境的二次污染，显著提高芯片良率。

3、【高机械强度与硬度，超长寿命】：碳化硅材料具有极高的硬度和机械强度，耐磨损、抗擦伤，在频繁的推拉操作中不易损坏，使用寿命远超石英，大幅降低更换频率和维护成本。

4、【优异抗热震性，适应快速温变】：具备出色的抗热冲击能力，能够承受炉管进出时的快速温度变化，不易开裂，确保在间歇性高温工艺中的可靠性。

5、【定制化尺寸与接口设计】：根据您的炉管内径、晶舟尺寸、自动化设备的接口类型（如机器人法兰、连接件）和具体工艺要求，提供从长度、截面形状到末端接口等全面的定制化设计与精密加工服务，实现完美匹配。

6、【轻量化设计，提升响应速度】：碳化硅材料密度相对较低，可实现桨杆的轻量化设计，有助于降低机器人末端负载，提升自动化搬运系统的响应速度和精度。

三、广泛应用于半导体晶圆高温处理环节

半导体扩散炉：晶圆推拉、定位，确保高温扩散工艺均匀性。

半导体氧化炉：晶圆进出，支持高温氧化过程。

CVD/PECVD设备：在薄膜沉积过程中，进行晶圆载具的精确搬运。

高温退火炉：保障晶圆在高温退火处理中的稳定传输。

光伏行业：硅片制备过程中的高温搬运。

四、为什么选择我们，选择卓越品质与创新定制

       作为精密陶瓷材料与半导体应用解决方案的专家，我们深耕碳化硅桨杆的研发、制造与优化。我们拥有一支经验丰富的研发团队，配备国际先进的生产与检测设备，并严格遵循ISO质量管理体系。我们不仅提供标准化产品，更专注于与客户紧密合作，提供从材料选型、设计验证到批量生产的全链条定制服务，确保您的桨杆在严苛的半导体制造环境中发挥卓越性能。